同一批硅片，四探针测出来一模一样，功函数却降了近0.9eV：方阻合格不代表工艺到位(硅片涨价50点有研硅产品是全部涉及到这个吗)

同一批硅片，做过和没做过氧等离子处理，四探针测出的方阻几乎一模一样；但开尔文探针测到的功函数，从约 5.0 eV 降到 4.1 eV，差了近0.9 eV。 四探针测体相，功函数看表面四探针把电流注入和电压读…...