标签:"释气"相关文章

真空设备线缆释气污染如何规避|广柔 PTFE 扁平电缆守护半导体真空制程良率(真空设备加工)

真空设备线缆释气污染如何规避|广柔 PTFE 扁平电缆守护半导体真空制程良率(真空设备加工)

在晶圆检测、晶圆计量设备中,线缆布置于真空腔体内部线性运动平台,低释气性能保护晶圆样本不受分子污染,小弯曲半径适配腔体狭小走线缝隙,多层叠加的布线方式,方便多组信号、动力线束同步排布。广柔PTFE 扁平电…...