同时：油 + 自燃性特气，存在腔体内点火、爆燃风险，安全评审直接否决。 半导体特气是直接参与薄膜沉积、刻蚀的工艺介质，不是动力气源；油蒸气属于气相有机污染，后置过滤无法稳定去除，在等离子高温下分解为碳杂质，…...
