中欣晶圆申请直拉单晶炉无死角变径APC调节阀专利，进一步调节排气流量和炉内气压(中欣晶圆最新进展情况)

国家知识产权局信息显示，宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“直拉单晶炉无死角变径APC调节阀”的专利，公开号CN122899915A，申请日期为2026年8月。

专利摘要显示，本发明涉及直拉单晶炉无死角可变径APC压力调节阀，属于半导体单晶硅制造技术领域。本发明提供的直拉单晶炉无死角变径APC调节阀包括：阀体、可变径密封膜和变径驱动机构；所述阀体包括阀体入口段和阀体出口段；所述可变径密封膜采用以柔性的耐高温柔性石墨复合材料或全氟橡胶为主体，所述变径驱动机构设置于阀体内，所述阀体入口段和阀体出口段靠近的一侧通过柔性的所述可变径密封膜进行连接，阀体与可变径密封膜形成左右两端贯穿的无死角主气流通路，可由控制机构控制变径驱动机构驱动端对可变径密封膜中间段施加压力，使所述主气流通路直径在一定范围内连续变化，从而对流通面积进行调节，进一步调节排气流量和炉内气压。

天眼查资料显示，宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，成立于2015年，位于银川市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析，宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目17次，专利信息426条，此外企业还拥有行政许可27个。

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