《配气系统里的MFC，混合气工况怎么匹配》(配气系统汽车)

配气系统、燃烧控制、半导体工艺、发酵培养这些场合，经常需要把两种或多种气体按比例混合。混合气MFC负责控制各组分气体的流量，比例稳不稳，直接决定混合气的浓度和后续工艺结果。混合气工况和单一气体不一样，选型时要把组分、比例、切换方式和标定条件都考虑进去。

一、先看组分和比例范围

混合气的组分和比例决定了MFC的选型方向。各组分气体的热物性不同，MFC的标定和控制参数都基于特定气体。如果某一路MFC按氮气标定，实际通的是氢气、氦气或二氧化碳，不设置转换系数或重新标定，这一路的流量就会偏，