《大量程MFC怎么选？先看流量范围和控制精度》(MFC怎么开起内部应用) szthrk.cn

半导体、光伏、化工和工业气体处理中，有些工艺的气体流量达到每分钟几十升甚至几百升。这个量级下，小量程MFC的阀口和传感器流道不够用，阀门开到最大也达不到设定流量。大量程MFC就是针对这类工况设计的，选型和使用与小量程有不一样的侧重点。

一、量程匹配和低流量段表现

大量程MFC的满量程可能是几百slm甚至更高。选型时让常用流量落在满量程的20%到80%区间，同时确认最低流量点是否在控制范围内。

大量程MFC的难点在小流量端。量程大，低流量段的分辨力和控制精度相对有限。如果工艺既有大流量需