气体流量控制里，MFC的接液材质是个基础问题。普通MFC常用黄铜或铝合金阀体，遇到腐蚀性气体、高纯气体或较高压力工况，这些材质就不够用了。不锈钢MFC用不锈钢做阀体和流道，耐腐蚀性、耐压能力和洁净度都更好，在半导体、化工、医疗和实验室里比较常见。
一、不锈钢MFC适合什么场合
不锈钢MFC最直接的适用场景，是气体本身有腐蚀性或纯度要求高。氯气、氯化氢、硫化氢、氨气这类腐蚀性气体，普通材质容易被腐蚀，不锈钢或耐蚀合金流道更耐用。半导体工艺气、医疗用氧、实验室标准气，对气体纯度和颗粒控制要求高，不锈钢流道表面处理更精细，不容易析出
