山金 LINTEC琳得科 MC-3452L 质量流量控制器 MC-3582L
山金 LINTEC琳得科 MC-3452L 质量流量控制器 MC-3582L
山金工业代理｜LINTEC 琳得科 MC‑3452L / MC‑3582L（MC‑3000L 常温标准压电气体 MFC）
定位：MC‑3000L 标准常温金属密封气体 MFC，压电阀、RS485+0‑5V 模拟，连续稳态载气控制； 区别 MC‑3000L‑TC 高温款、MC‑3102S 低压差款，适配 VU 系列汽化器大流量载气、炉管、LPCVD / 氧化工艺株式会社リ...
✅ 参数对比（N₂标定）
表格
项目
MC-3452L
MC-3582L
氮气满量程 50 SLM 300 / 400 SLM
可控区间 2%～100% FS 2%～100% FS
精度 10~100%FS：±1.0% SP2~10%FS：±0.25% FS 10~100%FS：±1.0% SP2~10%FS：±0.25% FS
重复性 ±0.2% FS ±0.2% FS
阀类型 压电比例阀，默认 NC 常闭（可定制 NO） 压电比例阀，默认 NC 常闭
典型响应 ≤1 s ≤1 s
推荐压差 150～500 kPa 350～500 kPa
耐压 1.0 MPa(G) 1.0 MPa(G)
流路材质 SUS316L，Au 金属密封，可选 EP 精抛 SUS316L，Au 金属密封，可选 EP 精抛
氦检漏率 ≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s ≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s
信号通讯 0–5V 模拟、RS485 0–5V 模拟、RS485
标准接头 3/8" VCR / UJR 1/2" VCR / UJR
✅ 选型差异 & 核心特点
MC‑3452L｜50SLM 中大流量主力匹配 VU‑440、VU‑450 汽化器主载气；TEOS 氧化、水汽氧化最常用档位；NO 阀可选，维护吹扫更友好。后端管路阻力偏高场景适用，是 3000L 系列出货量大的主力型号株式会社リ...。
MC‑3582L｜300/400SLM 超大流量顶档MC‑3000L 系列流量上限机型，用于批量炉管氧化、LPCVD、腔室大流量吹扫保护；对前端稳压要求很高，只适合 连续稳态供气，不适合脉冲 ALD / 刻蚀（脉冲选 MC7000C/D）株式会社リ...。
MC‑3000L 完整流量顺序：
MC‑3102L (5SLM) → MC‑3202L (10/20SLM) → MC‑3252L (30/50SLM) → MC‑3452L(50SLM)→ MC‑3462L(100/150SLM) → MC‑3472L(200SLM) → MC‑3582L(300/400SLM)株式会社リ...
✅ 重点型号区分（容易混淆）
MC‑3452L： 常温气体 MFC，50SLM，RS485
MM‑3452L： 液体 MFC（供前驱体），给 VU 汽化器供液，完全不同品类
MC‑3452L‑TC：同流量， 流路高温烘烤版本，防蒸汽冷凝
MC‑3102S：低压差微量气体 MFC，真空升华源专用
✅ 典型供气回路
高纯气源 → 前置过滤器 → 稳压阀 → MC‑3000L → VU 汽化器混合节点 / 工艺腔吹扫
✅ 适用工艺
连续式 ALD、TEOS CVD、水汽氧化、炉管氧化、晶圆保护吹扫、8/12 寸薄膜产线
✅ 琳得科产品梯队更新
✅ 液体 MFC（前驱体供液，金属密封）
LC-3102L：常温微量压电款｜配 VU-206
LC-3202L：常温小流量主力｜配 VU-430
LC-3702L：常温中大流量款｜配 VU440/450/550/462
MM-3102L-TN：耐高温微量压电款｜配 VU-206
MM-3202L：耐高温小流量款｜配 VU-430
MM-3452L：耐高温中大流量款｜配 VU440/450
MM-3582L：耐高温大流量款｜配 VU550/462
✅ 气体 MFC
MC-10RC / MC-11RC：经济型氟胶密封，模拟 / RS485
MC-710/720/730：金属密封 VR 可变、RS485
MC-7100C/7200C：EtherCAT 高速脉冲旗舰
MC-7100D/7200D：DeviceNet 高速脉冲旗舰
MC-5000L（DeviceNet 连续大流量）、MC-5000C（EtherCAT 连续大流量）
MC-3102S：低压差微量气体 MFC，升华源低压腔专用
MC-3102L-TC / MC-3202L-TC：MC3000L 高温烘烤款
MC-3102L、MC-3202L、MC-3252L
MC-3452L：MC3000L 常温 50SLM 中大流量
MC-3462L、MC-3472L
MC-3582L：MC3000L 常温 300/400SLM 顶流
