佳能新款 KrF 光刻机官宣发售，面向存储芯片制造(佳能即将新出的rf镜头)

佳能对外发布全新 KrF 扫描式光刻机 FPA-6400ES6a。

这款设备主要用于存储芯片、逻辑芯片的量产加工，套刻精度更高。

相比前代机型，生产效率提升，适合晶圆厂稳定批量生产。

KrF 光刻机是成熟制程芯片产线里需求量很大的核心设备。

国内不少存储厂商持续关注成熟制程设备，保障芯片产能。

业内分析，成熟制程设备稳定供货，对存储产业链很关键。