
德国阿斯拉尔,近期 —— Busch Group 旗下品牌,Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions(以下称 Pfeiffer 普发)推出新款 SplitFlow 350 涡轮分子泵。这款结构紧凑的泵面向高气体流量与要求严苛的工业工艺,将高抽速与低功耗完美结合。与 SplitFlow 系列的所有真空泵一样,该泵由多个级组成,各级之间通过转子堆叠分隔。
凭借这一结构,涡轮泵可逐级达到更高真空度,因而不再需要同时使用多台涡轮泵。该系列因此特别适用于安装空间有限的高真空系统,例如质谱仪。自 Pfeiffer 普发发明涡轮泵以来,这一技术方向已持续演进百余年;除本次新增的 SplitFlow 350 外,其涡轮分子泵产品线还包括 HiPace 系列,覆盖不同的抽速与安装需求。
对高真空系统的选型而言,极限真空、抽速、占地面积与维护周期通常需要放在一起权衡。多级转子结构把这几项收进同一台泵内:单台设备逐级建立真空,泵组数量随之减少,占地面积与配套管路一并下降。涡轮分子泵通常需与前级泵配合工作,构成抽气机组;前级泵的选择取决于工艺对油污染的容忍度与维护条件。这一组合方式在实验室分析、科研装置与薄膜镀膜产线上较为常见。
转子温度传感器保障运行安全为在变化的工艺条件下保持稳定可靠运行,SplitFlow 350 配备集成传感系统,持续监测转子温度。泵因此能始终保持在最佳运行区间,并可靠防止过热以及关键部件可能受到的损伤。得益于这套集成传感系统,涡轮泵具备本质安全性,同时保持稳定性能与长期可靠性。
SplitFlow 350 采用混合轴承系统,将滚珠轴承与永磁轴承相结合。该轴承技术带来长使用寿命:永磁轴承利用电磁力,使转子在无物理接触的情况下保持稳定与平衡,从而最大限度减少真空泵内部的磨损。
高性能润滑剂延长使用寿命针对陶瓷滚珠轴承新开发的高性能润滑剂,提升了 SplitFlow 350 的耐用性与可靠性。改进的抗老化性能、优化的润滑特性、高耐温性与低放气率,共同保障性能长期稳定。
润滑剂置于储油腔中,持续为滚珠轴承供油。这一设计减少了磨损,有助于泵保持长期高效运行,其结果是更低的维护成本,以及最长五年的免维护运行时间。
上述设计指向的是同一类工况:真空品质需要长期稳定,而维护窗口越少越好。在半导体、科研与分析仪器、薄膜镀膜等行业,真空设备停机往往意味着整条工艺段的等待,维护周期的长短直接进入使用成本。Pfeiffer 普发在这些行业提供涡轮分子泵与前级泵的组合方案,SplitFlow 350 面向的正是其中对气体流量与安装空间同时有要求的场景。
支撑这类长期运行的另一面是服务网络。Pfeiffer 普发创立于 1890 年,长期参与真空技术标准的制定,目前在全球拥有约 4,000 名员工、10 个生产基地与 23 个销售与服务中心。在中国,普发真空技术(上海)有限公司设有约 4,000 平方米的售后服务和组装工厂,并在各地配置区域销售与现场服务工程师。在涡轮分子泵与高真空技术领域,普发是全球主要厂商之一。

配图说明:新款 SplitFlow 350 涡轮分子泵将高抽速与低功耗相结合。
图片来源:Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 中国官方网站
关于 Busch GroupBusch Group 是全球主要的真空泵、真空系统、鼓风机、压缩机、真空腔体与尾气处理系统制造商之一。集团旗下拥有两个知名品牌:Busch Vacuum Solutions 与 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions。
产品与服务组合覆盖食品、半导体、分析、化工与塑料等行业的真空、正压与尾气处理应用,也包括定制真空系统的设计与建造,以及覆盖全球的服务网络。
Busch Group 是由 Busch 家族管理的家族企业。集团在全球 47 个国家拥有超过 8,000 名员工,总部位于德国巴登-符腾堡州毛尔堡,地处德国、法国、瑞士三国交界地区。
在中国,Busch Group 设有武汉蔡甸亚太生产销售基地,该基地为其全球 20 家自有生产工厂之一。除中国外,集团在德国、法国、英国、印度、罗马尼亚、瑞士、韩国、捷克、美国与越南同样设有生产工厂。
常见问题 FAQ
Q1:涡轮分子泵和普通真空泵有什么区别?
涡轮分子泵用于高真空与超高真空段,需与前级泵配合组成抽气机组;普通旋片泵、干泵多用于粗真空与前级。多级转子结构的涡轮泵可逐级建立更高真空度,减少泵组串联数量。
Q2:SplitFlow 350 适合什么场景?
适合安装空间有限、同时要求高气体流量的高真空系统,例如质谱仪等分析仪器。泵体结构紧凑,单台设备即可完成多级抽气。
Q3:最长五年免维护是怎么实现的?
混合轴承系统让转子在永磁轴承上无接触运行,减少内部磨损;针对陶瓷滚珠轴承开发的高性能润滑剂具备抗老化、耐高温与低放气率特性,置于储油腔中持续供油,维护成本与停机时间随之下降。














