
国内半导体产业高速发展,集成电路产线持续规模化扩张。化学品供应系统是半导体制程前端的核心命脉,任何故障都将引发巨大生产损失,因此各大晶圆厂对化学品供给设备的稳定性、安全性、洁净度要求持续升级。
半导体化学品供给主要分为三大方式:槽车输送、标准桶槽供给、本地储罐储存。集成电路工艺化学品种类繁多,受厂房空间布局限制,绝大多数晶圆厂对于消耗量较小的电子级化学品,普遍采用双标准桶(Dual Drum)供给方案,依靠人工换桶完成补液。
传统人工换桶模式存在诸多行业痛点: 换桶作业时需要人工拆装、核对气口、液口接头,避免化学品错配;桶内需持续通入氮气等惰性气体维持压力平衡,属于危化品操作场景。为规避泄漏、接错风险,接头结构设计复杂,人工拆装费时费力,作业门槛高、安全风险大,且很难实现自动化改造。市面上现有换桶组件普遍自动化程度偏低、安全防护方案薄弱,难以匹配当下先进制程对效率、洁净、安全的高标准。
















